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icc hofmann - Ingenieurbüro für technische Informatik Am Stockborn 16, 60439 Frankfurt/M, FRG Tel.: +49 6082-910101 Fax.: +49 6082-910200 E-Mail: info@icc-hofmann.net |
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38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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DEU-Köln: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) DRIE-Anlage 2026/S 20/2026 64442 Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) DRIE-Anlage OJ S 20/2026 29/01/2026 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Lieferleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) E-Mail: evergabe@dlr.de Rechtsform des Erwerbers: Gruppe öffentlicher Stellen Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: DRIE-Anlage Beschreibung: Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. Kennung des Verfahrens: 8372bb9d-9a8f-482f-8b4a-4326b6d12adf Interne Kennung: ELVIS-ID E36312695 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Reinraum Universität Ulm Albert-Einstein-Allee 45 Stadt: Ulm Postleitzahl: 89081 Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Zahlungsunfähigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Betrug: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Korruption: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: DRIE-Anlage Beschreibung: Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. Interne Kennung: LOT-0001 422/2026/9162803 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 5.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Reinraum Universität Ulm Albert-Einstein-Allee 45 Stadt: Ulm Postleitzahl: 89081 Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Andere Laufzeit: Unbekannt 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Eintragung in das Handelsregister Beschreibung des Auswahlkriteriums: Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen. Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung Beschreibung des Auswahlkriteriums: Bieter müssen eine Berufs- /Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000 für Personenschäden und 1.000.000 für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der Bekanntmachung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache abgefasst sein. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: Datum der Unternehmensgründung Standorte des Unternehmens Rechtsform des Unternehmens Registergericht und Registernummer Umsatzsteuer Identifikationsnummer (USt-ID) Identifikationsnummer (Leitweg-ID) Einstufung als KMU Einstufung als Start-UP Börsennotiert Staatsangehörigkeit des wirtschaftlichen Eigentümers des Unternehmens Beschreibung des Kerngeschäftes Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung BMWK-Russland: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in Russland untersagt wird, auch auf Belarus. Der Bieter erklärt mit der Eigenerklärung gemäß Art. 5k der VO 833/2014, dass sich seine Geschäftstätigkeiten ebenfalls nicht auf Belarus erstrecken. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen) Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz) Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation) Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Erklärung einer Bietergemeinschaft. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Verpflichtungserklärung eines Unterauftraggebers. Kriterium: Zertifikate von Qualitätskontrollinstituten Beschreibung des Auswahlkriteriums: ISO 9001 Zertifizierung Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Auswahlkriteriums: Erklärungen DSGVO/elektronische Zahlungsverkehr 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Näheres entnehmen Sie bitte der beigefügten Bewertungsmatrix. Beschreibung: Preis 42% Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 42,00 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Näheres entnehmen Sie bitte der beigefügten Bewertungsmatrix. Beschreibung: Qualität 58% Aufgeteilt in: Qualität 38% Service und Lieferung 20 % Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 58,00 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.subreport.de/E36312695 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.subreport.de/E36312695 Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 27/02/2026 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 42 Tage Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet. Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Eröffnungstermin: 27/02/2026 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen. Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) Organisation, die Angebote bearbeitet: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) Registrierungsnummer: Leitweg-ID 992-03005-81 Abteilung: Einkauf Postanschrift: Linder Höhe Stadt: Köln Postleitzahl: 51147 Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23) Land: Deutschland E-Mail: evergabe@dlr.de Telefon: 0 00 Internetadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt Organisation, die Angebote bearbeitet 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Abteilung: Vergabekammer Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +492289499578 Fax: +492289499163 Internetadresse: https://bundeskartellamt.de Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 024398be-447d-4907-be3e-f51692d1d125 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 27/01/2026 11:53:09 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 20/2026 Datum der Veröffentlichung: 29/01/2026 Referenzen: https://bundeskartellamt.de https://www.subreport.de/E36312695 http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202601/ausschreibung-64442-2026-DEU.txt |
